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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明公开了一种二维斜交光栅结构的X射线散射场计算方法和装置，属于小角散射技术领域，所述方法包括：S1：确定二维斜交光栅结构的第一斜交方向、第二斜交方向及结构特征参数；第一斜交方向和第二斜交方向上均存在周期排列的相同光栅单元；S2：以其中一个光栅单元中心为坐标原点、第二斜交方向为x轴建立直角坐标系；获取第一斜交方向与坐标系上y轴的夹角；S3：基于小角X射线散射原理和二维斜交光栅结构的分布特征构建二维斜交光栅结构对应的通用X射线散射场计算模型；将结构特征参数和夹角输入通用X射线散射场计算模型得到二维斜交光栅结构的散射强度。本发明能够提高二维斜交光栅结构散射强度的计算准确率。
主权项：1.一种二维斜交光栅结构的X射线散射场计算方法，其特征在于，包括：S1：确定所述二维斜交光栅结构的第一斜交方向n1、第二斜交方向n2及结构特征参数，所述结构特征参数至少包括：结构关键尺寸和材料电子密度；所述第一斜交方向n1和所述第二斜交方向n2上均存在周期排列的相同光栅单元；S2：以其中一个所述光栅单元中心为坐标原点、第二斜交方向n2为x轴建立直角坐标系；获取所述第一斜交方向n1与所述坐标系上y轴的夹角θ，所述夹角θ的范围为-π2，π2；S3：基于小角X射线散射原理和所述二维斜交光栅结构的分布特征构建所述二维斜交光栅结构对应的通用X射线散射场计算模型；所述通用X射线散射场计算模型表示为： 其中，Iqx,qy,qz为所述二维斜交光栅结构的散射强度；qx为x方向的散射矢量，qy为y方向的散射矢量，qz为z方向的散射矢量，Fqx,qy,qz为所述光栅单元的形状因子；δ为狄拉克函数；m为x方向的衍射级次，n为y方向的衍射级次，L1为第一斜交方向n1的周期间距，L2为第二斜交方向n2的周期间距；S4：将所述结构特征参数和所述夹角θ输入所述通用X射线散射场计算模型，以使其输出所述二维斜交光栅结构的散射强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种二维斜交光栅结构的X射线散射场计算方法和装置
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