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一种清洗刷间距校准治具及方法 

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申请/专利权人:上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

摘要:本发明公开了一种清洗刷间距校准治具及方法,其中清洗刷间距校准治具包括:辊轴组件,包括第一辊轴和与所述第一辊轴相对设置的第二辊轴;检测组件,包括位移传感器,所述位移传感器设置于所述第一辊轴且朝向所述第二辊轴,用于检测所述第一辊轴的第一端部和所述第二辊轴的第一端部之间的间距;调整组件,包括支撑部和底座,所述支撑部分别与所述第一辊轴和所述第二辊轴连接,所述支撑部与所述底座活动连接,通过调整所述支撑部在所述底座上的位置,进而将所述第一辊轴的第一端部和所述第二辊轴的第一端部之间的间距调整至预设值。本发明能够准确有效检测两辊轴之间的间距,并保证两辊轴之间的V角处于基准范围内,从而提高清洗刷的清洗效果。

主权项:1.一种清洗刷间距校准治具,其特征在于,包括:辊轴组件,包括第一辊轴和与所述第一辊轴相对设置的第二辊轴,所述第一辊轴和所述第二辊轴均包括第一端部和第二端部;检测组件,包括位移传感器,所述位移传感器设置于所述第一辊轴的第一端部且朝向所述第二辊轴的第一端部,用于检测所述第一辊轴的第一端部和所述第二辊轴的第一端部之间的间距;调整组件,包括支撑部和底座,所述支撑部分别与所述第一辊轴和所述第二辊轴连接,所述支撑部与所述底座活动连接,通过调整所述支撑部在所述底座上的位置,进而将所述第一辊轴的第一端部和所述第二辊轴的第一端部之间的间距调整至预设值。

全文数据:

权利要求:

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