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光刻胶干燥设备尾气处理装置 

申请/专利权人:乐金显示光电科技(中国)有限公司

申请日:2023-11-29

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN221280003U

主分类号:F27D17/00

分类号:F27D17/00;F27D21/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权

摘要:本实用新型公开一种光刻胶干燥设备尾气处理装置,包括壳体和换热器。壳体内具有供待换热介质流经的容置腔,换热器设置在容置腔内,包括换热管、多个第一换热组件以及多个第二换热组件,换热管内流动有换热介质,每个第一换热组件均包括第一半管和连接于第一半管的外壁的多个第一换热片,每个第二换热组件均包括两个第二半管和均连接于两个第二半管的外壁的多个第二换热片。多个第一换热组件沿换热管的延伸方向依次设置,多个第二换热组件沿换热管的延伸方向依次设置,每个第一半管和一个第二半管可拆卸拼接以包覆位于侧边的换热管,其余第二半管两两可拆卸拼接以包覆不位于侧边的换热管。该光刻胶干燥设备尾气处理装置能够减小清洁所需空间。

主权项:1.一种光刻胶干燥设备尾气处理装置,其特征在于,包括:壳体,所述壳体内具有供待换热介质流通的容置腔;换热器,所述换热器设置在所述容置腔内,所述换热器包括换热管、多个第一换热组件以及多个第二换热组件,所述换热管内流动有换热介质,每个所述第一换热组件均包括第一半管和多个第一换热片,多个所述第一换热片均连接于所述第一半管的外壁,每个所述第二换热组件均包括两个第二半管和多个第二换热片,每个所述第二换热片均连接于两个所述第二半管的外壁;多个所述第一换热组件沿所述换热管的延伸方向依次设置,多个所述第二换热组件沿所述换热管的延伸方向依次设置,每个所述第一半管和一个所述第二半管可拆卸拼接以包覆位于侧边的所述换热管,其余所述第二半管两两可拆卸拼接以包覆不位于侧边的所述换热管。

全文数据:

权利要求:

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