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申请/专利权人：上海福赛特技术股份有限公司
申请日：2023-11-22
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221282052U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型公开了一种蓝膜张紧装置及其形成的晶粒分选装置，其中，蓝膜张紧装置包括：固定组件，用于固定蓝膜的边缘位置；顶出组件，位于蓝膜远离吸嘴的一侧，包括顶出杆，所述顶出杆靠近蓝膜的一端设置有真空吸孔，所述真空吸孔通过真空通道连接至真空发生器；所述顶出杆连接驱动件，驱动件能够带动所述顶出杆朝着远离或者靠近蓝膜的方向移动。本实用新型提供一种蓝膜张紧装置及其形成的晶粒分选装置，采用真空吸孔带动蓝膜稳定回缩，避免蓝膜发生震动，提高晶粒分选效率。
主权项：1.一种蓝膜张紧装置，其特征在于，包括：固定组件，用于固定蓝膜的边缘位置；顶出组件，位于蓝膜远离吸嘴的一侧，包括顶出杆，所述顶出杆靠近蓝膜的一端设置有真空吸孔，所述真空吸孔通过真空通道连接至真空发生器；所述顶出杆连接驱动件，驱动件能够带动所述顶出杆朝着远离或者靠近蓝膜的方向移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海福赛特技术股份有限公司 一种蓝膜张紧装置及其形成的晶粒分选装置
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