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载具和清洁装置 

申请/专利权人:深圳市龙图光罩股份有限公司

申请日:2023-12-07

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN221269152U

主分类号:B08B5/02

分类号:B08B5/02;B08B5/04;B08B13/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权

摘要:本申请提供一种载具和清洁装置,解决现有技术中人工除尘方式效率低的问题。载具可以包括第二侧板和沿第一方向相对的两个第一侧板。第一侧板的内表面具有卡槽,卡槽沿第二方向延伸,第一方向与第二方向交叉;第二侧板与两个第一侧板连接,且与第二方向交叉。其中,两个第一侧板中的至少一者具有进气孔,进气孔位于卡槽内;第二侧板具有出气孔。利用两个卡槽将待清洗件暂时固定住。然后气体从进气孔进入到卡槽内,使得气体吹在待清洗件的板面或表面上,从而将待清洗件上的灰尘颗粒吹下上。最后从气体和灰尘颗粒从出气孔出去。

主权项:1.一种载具,其特征在于,包括:沿第一方向相对的两个第一侧板;所述第一侧板的内表面具有卡槽,所述卡槽沿第二方向延伸,所述第一方向与所述第二方向交叉;第二侧板,与两个所述第一侧板连接,且与所述第二方向交叉;其中,两个所述第一侧板中的至少一者具有进气孔,所述进气孔位于所述卡槽内;所述第二侧板具有出气孔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市龙图光罩股份有限公司 载具和清洁装置

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