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申请/专利权人：湖北兴福电子材料股份有限公司
申请日：2023-09-21
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221267604U
主分类号：B01D53/04
分类号：B01D53/04;C01B25/06;B01D3/14;B01D3/32;B01D5/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型提供一种电子级磷化氢提纯装置，包括原料罐，原料罐通过输送管线依次与吸附单元A、吸附单元B、吸附单元C、脱重单元T1、脱轻单元T2、产品预冷器以及产品中间罐连接，脱重单元T1包括第一精馏塔，第一精馏塔顶部设有第一冷凝回流器，底部设有第一再沸器，吸附单元C通过输送管线与第一精馏塔中部连接，脱轻单元T2包括第二精馏塔，第二精馏塔顶部设有第二冷凝回流器，底部设有第二再沸器，第一精馏塔顶部通过输送管线与第二精馏塔中部连接，第二精馏塔底部与产品预冷器连接。该装置可有效去除工业磷化氢中的H2O、O2、CO、CO2、H2S、H2、C2H2、CH4、CO、SiH4、C2H4等杂质得到电子级磷化氢。
主权项：1.一种电子级磷化氢提纯装置，其特征在于，包括原料罐1，原料罐1通过输送管线依次与吸附单元A、吸附单元B、吸附单元C、脱重单元T1、脱轻单元T2、产品预冷器9以及产品中间罐10连接，脱重单元T1包括第一精馏塔3，第一精馏塔3顶部设有第一冷凝回流器4，底部设有第一再沸器5，吸附单元C通过输送管线与第一精馏塔3中部连接，脱轻单元T2包括第二精馏塔6，第二精馏塔6顶部设有第二冷凝回流器7，底部设有第二再沸器8，第一精馏塔3顶部通过输送管线与第二精馏塔6中部连接，第二精馏塔6底部与产品预冷器9连接，原料罐1、吸附单元A、吸附单元B、吸附单元C、脱重单元T1、脱轻单元T2、产品预冷器9以及产品中间罐10通过尾气管线与尾气总管15连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种电子级磷化氢提纯装置
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