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申请/专利权人：深圳技术大学
申请日：2023-11-03
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221281404U
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及一种基于UVMicro‑LED的数字无掩膜光刻系统，包括空间光调制系统、投影光学系统和载台，该空间光调制系统包括UVMicro‑LED器件、微透镜阵列和控制器，控制器与UVMicro‑LED器件信号连接，微透阵列设置在UVMicro‑LED器件的图像输出端；该投影光学系统包括依次设置在微透阵列出光侧的聚光镜组、带通滤光片和投影物镜，该载台设置在投影物镜的成像光束输出侧；本系统通过UVMicro‑LED器件产生动态光学图像，再依次经微透阵列匀光、聚光镜组准直、带通滤光片滤光和投影物镜精缩成像在载台的晶圆上，完成曝光。本申请能够降低无掩膜光刻系统的复杂度，同时实现实时、高效的图形转移。
主权项：1.一种基于UVMicro-LED的数字无掩膜光刻系统，其特征在于，包括：空间光调制系统100，该空间光调制系统100包括UVMicro-LED器件101、微透镜阵列102和控制器103，所述控制器103与UVMicro-LED器件101信号连接，所述微透阵列102设置在UVMicro-LED器件101的图像输出端；投影光学系统200，该投影光学系统200包括聚光镜组201、带通滤光片202和投影物镜203，所述聚光镜组201、带通滤光片202和投影物镜203依次设置在微透阵列102的出光侧；以及，载台300，该载台300设置在投影物镜203的成像光束输出侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳技术大学 一种基于UV Micro-LED的数字无掩膜光刻系统
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