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申请/专利权人：湖北江城芯片中试服务有限公司
申请日：2023-09-28
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221282040U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;B08B13/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本申请涉及一种清洗设备，包括：清洗腔室、分隔装置、清洗装置，清洗腔室具有中空的内仓。分隔装置设置于内仓内，分隔装置将内仓分隔为传输仓和清洗仓，传输仓用于传输物料，清洗仓用于对物料进行清洗。分隔装置与清洗腔室的底壁之间具有间隔，间隔用于供物料通过。清洗装置设置于清洗仓内，清洗装置用于清洗物料。上述清洗设备通过分隔装置将清洗腔室的内仓分隔为传输仓和清洗仓，能够减小清洗仓内的气体湿度对传输仓的影响。在竖直方向上，清洗腔室的上部水汽易扩散，分隔装置与清洗腔室的底壁之间具有间隔供物料通过，能够使水汽对物料的影响较小。该清洗设备能够降低产品在清洗设备内部传输过程中铝线受到的腐蚀程度。
主权项：1.一种清洗设备，其特征在于，包括：清洗腔室、分隔装置、清洗装置，所述清洗腔室具有中空的内仓；所述分隔装置设置于所述内仓内，所述分隔装置将所述内仓分隔为传输仓和清洗仓，所述传输仓用于传输物料，所述清洗仓用于对物料进行清洗；所述分隔装置与所述清洗腔室的底壁之间具有间隔，所述间隔用于供物料通过；所述清洗装置设置于所述清洗仓内，所述清洗装置用于清洗物料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北江城芯片中试服务有限公司 清洗设备
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