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申请/专利权人：江苏新瑞磁控技术有限公司
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275882U
主分类号：C23C14/56
分类号：C23C14/56;C23C14/35
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空腔结构。一种真空腔结构，包括：周向板，所述周向板包括两个圆弧段，两个所述圆弧段水平间隔排布，两个圆弧段的上端通过外凸的弧形段连接，两个圆弧段的下端通过U形段连接，所述周向板为对称结构；端板，所述端板为两个，两个端板的形状与周向板的端部形状相适应，两个所述端板分别密封固定在所述周向板的轴向两端。所述周向板的外表面形成有贯通式加强筋。所述贯通式加强筋包括第一加强筋和第二加强筋，所述第一加强筋和第二加强筋垂直相交。解决了现有技术中的真空腔结构没有很好地与内部结构相适应，导致真空腔结构体积大，内部空间利用率低的技术问题。
主权项：1.一种真空腔结构，其特征在于，包括：周向板1，所述周向板1包括两个圆弧段11，两个所述圆弧段11水平间隔排布，两个圆弧段11的上端通过外凸的弧形段12连接，两个圆弧段11的下端通过U形段13连接，所述周向板1为对称结构；端板2，所述端板2为两个，两个端板2的形状与周向板1的端部形状相适应，两个所述端板2分别密封固定在所述周向板1的轴向两端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏新瑞磁控技术有限公司 一种真空腔结构
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