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一种加快晶棒结晶速度水冷屏及单晶炉 

申请/专利权人:乐山市京运通半导体材料有限公司

申请日:2023-11-28

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN221275952U

主分类号:C30B15/00

分类号:C30B15/00;C30B29/06

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权

摘要:本实用新型公开了一种加快晶棒结晶速度水冷屏及单晶炉,包括水冷屏本体、进水管道和出水管道,水冷屏本体包括内壳和外壳,内壳与外壳之间围成腔体,腔体的顶、底封口分别形成水冷屏顶和水冷屏底,进水管道从水冷屏顶的一侧伸入腔体内与腔体连通,出水管道从水冷屏顶的另一侧伸入腔体内与腔体连通,所述进水管道上安装有制冷器和进水温度传感器。本实用新型提升了极限拉晶速率并提高了产量。

主权项:1.一种加快晶棒结晶速度水冷屏,包括水冷屏本体1、进水管道2和出水管道3,水冷屏本体1包括内壳4和外壳5,内壳4与外壳5之间围成腔体6,腔体6的顶、底封口分别形成水冷屏顶和水冷屏底,进水管道2从水冷屏顶的一侧伸入腔体6内与腔体6连通,出水管道3从水冷屏顶的另一侧伸入腔体6内与腔体6连通,其特征在于,所述进水管道2上安装有制冷器7和进水温度传感器8。

全文数据:

权利要求:

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