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表面测量方法、零件的制造方法、零件的检查方法以及零件的测量装置 

申请/专利权人:日立安斯泰莫株式会社

申请日:2019-08-14

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN112840206B

主分类号:G01N21/952

分类号:G01N21/952;G01B11/30

优先权:["20180906 JP 2018-167261"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权;2021.06.11#实质审查的生效;2021.05.25#公开

摘要:该表面测量方法向被测量面100d照射相干光束10,将由被测量面100d反射的反射光投射至屏幕102而形成光学像280,在由光学传感器107对光学像280进行拍摄时,在使屏幕102向一个方向连续移动的状态下实施由该光学传感器107进行的拍摄。

主权项:1.一种表面测量方法,向被测量面照射相干光束,将由所述被测量面反射的反射光投射至屏幕而形成光学像,并由光学传感器对所述光学像进行拍摄,该表面测量方法的特征在于,所述屏幕形成为圆筒状,并且连续地旋转,在使所述屏幕向一个方向连续移动的状态下实施由所述光学传感器进行的拍摄,使所述屏幕与所述光学像的宽度方向位置无关地以恒定的速度连续移动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日立安斯泰莫株式会社 表面测量方法、零件的制造方法、零件的检查方法以及零件的测量装置

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