申请/专利权人：北京师范大学;稳力(广东)科技有限公司

申请日：2019-12-09

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN110846625B

主分类号：C23C14/32

分类号：C23C14/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2021.10.12#著录事项变更;2020.03.24#实质审查的生效;2020.02.28#公开

摘要：本发明公开了一种长条高真空阴极电弧靶装置，真空室用于放置长条高真空阴极电弧靶装置，包括：主支撑架、阳极、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件；主支撑架上安装所述旋转部件；旋转部件与阴极靶材固定连接，并进行旋转动作；阳极与主支撑架连接；第一屏蔽环固定在阳极上，屏蔽阴极靶材和真空室；屏蔽电极包裹阴极靶材，并且阴极靶材的内部设置有永磁体；触发电极安装在屏蔽电极上，并且触发电极与触发电源电性连接。本发明提供了一种长条高真空阴极电弧靶装置，实现其能在高真空下稳定、可靠的弧光放电，同时大幅减低起弧时因温度过高而带来的颗粒喷射和提高阴极寿命。

主权项：1.一种长条高真空阴极电弧靶装置，真空室用于安装长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，包括：主支撑架、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件；所述主支撑架上安装所述旋转部件；所述旋转部件与所述阴极靶材固定连接，并进行旋转动作；所述旋转部件包括：电机、主动动齿轮、第一从动轮和旋转轴；所述第一从动轮安装在所述旋转轴上，所述电机的输出轴上安装所述主动动齿轮，并且所述主动动齿轮和所述第一从动轮相啮合；所述旋转轴与所述阴极靶材固定连接；所述真空室作为阳极，所述阳极与所述主支撑架连接；所述第一屏蔽环固定在所述阳极上，屏蔽所述阴极靶材和真空室；所述屏蔽电极包裹所述阴极靶材，并且所述阴极靶材的内部设置有永磁体；所述触发电极安装在所述屏蔽电极上，并且所述触发电极与触发电源电性连接；所述屏蔽电极包括第一屏蔽电极、第二屏蔽电极和第三屏蔽电极；所述第一屏蔽电极连接限流电阻并接地，所述第二屏蔽电极和第三屏蔽电极屏蔽所述第一屏蔽电极和所述阳极。

全文数据：

权利要求：

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