申请/专利权人：宁波云德半导体材料有限公司

申请日：2024-03-25

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN117921451B

主分类号：B24B1/00

分类号：B24B1/00;C09G1/02;B24B19/11

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明提供了一种石英环及其加工工艺。加工工艺包括以下步骤：S100、将石英原料进行切割，得到石英环坯料；S200、采用第一研磨剂对石英环坯料进行粗磨处理，得到石英环粗抛料；S300、对石英环粗抛料进行加工处理、洗净处理，得到石英环初品；S400、采用第二研磨剂对石英环初品进行精磨处理，得到石英环粗品；S500、将石英环粗品进行检测处理，清洗处理，得到石英环。本发明通过采用研磨剂对石英环进行打磨，一方面可以批量进行，提高加工效率；同时，研磨液有助于提高工件的表面质量，减少划痕和其他缺陷；另一方面，研磨液用作冷却剂和润滑剂，降低研磨过程中的摩擦和热量产生，有助于防止工件的过热，提高寿命，并减少热变形对工件的影响。

主权项：1.一种石英环的加工工艺，其特征在于，所述加工工艺包括以下步骤：S100、将石英原料根据产品特征进行切割，得到石英环坯料；S200、采用第一研磨剂对所述石英环坯料进行粗磨处理，得到石英环粗抛料；S300、对所述石英环粗抛料进行加工处理、洗净处理，得到石英环初品；S400、采用第二研磨剂对所述英环初品进行精磨处理，得到石英环粗品；S500、将所述石英环粗品进行检测处理，检测合格之后进行清洗处理，并用气枪吹干，得到所述石英环；其中，所述第一研磨剂包括研磨液、氧化剂、增强剂、缓冲剂和水；所述第二研磨剂包括研磨液、氧化剂、缓冲剂和水；所述研磨液通过以下步骤制备：S610、将十二烷基磺酸钠、异丁基三乙氧基硅烷、吐温60、壳聚糖、碳化硼、氧化硅和氧化铝混合均匀并加水配制为第一悬浊液，加盐酸调节pH值至4-6，以氧化锆球为研磨介质，对所述第一悬浊液进行时间为1h-2h的湿法研磨；S620、将海藻酸钠、滑石粉、长石粉、石蜡、山梨醇酐单油酸酯在植物油中混合均匀，配制为第二悬浊液；S630、将所述第一悬浊液加热至40℃-50℃，向所述第一悬浊液中滴加所述第二悬浊液并保温搅拌，滴加完毕后继续保温，并将混合物超声乳化均匀，获得前驱体；S640、将所述前驱体送入反应釜，在90℃-95℃的温度条件和4Mpa-6Mpa的压力条件下处理2h-2.5h，泄压冷却，调节pH值至中性，获得所述研磨液。

全文数据：

权利要求：

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