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玻璃检测机台 

申请/专利权人:日月光半导体制造股份有限公司

申请日:2021-02-18

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN112964731B

主分类号:G01N21/94

分类号:G01N21/94;G01N21/958;G01N21/01

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权;2021.07.02#实质审查的生效;2021.06.15#公开

摘要:本发明的实施例提供了一种玻璃检测机台,包括:载台;支撑件,位于载台上,支撑件用于将玻璃固定在载台上方,并且支撑件用于在玻璃和载台之间形成空间;取像装置,设置在载台和支撑件上方,取像装置用于获取和接收玻璃的影像。本发明的目的在于提供一种玻璃检测机台,以提高检测的准确性。

主权项:1.一种玻璃检测机台,其特征在于,包括:载台;支撑件,位于所述载台上,所述支撑件用于将所述玻璃固定在所述载台上方,并且所述支撑件用于在所述玻璃和所述载台之间形成空间;取像装置,设置在所述载台和所述支撑件上方,所述取像装置用于获取和接收所述玻璃的影像,其中,所述空间使得位于在所述玻璃下的光源进行散射或折射,并且所述空间拉远反射距离,以避免位于所述玻璃的下表面上的颗粒判定为位于所述玻璃的上表面的颗粒,其中,所述空间的高度大于所述玻璃的厚度的二倍,所述载台的面向所述玻璃的表面涂覆有抗反射材料。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日月光半导体制造股份有限公司 玻璃检测机台

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