申请/专利权人：扬州续笙新能源科技有限公司

申请日：2018-05-31

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN108501232B

主分类号：B28D5/04

分类号：B28D5/04;B28D7/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2018.10.09#实质审查的生效;2018.09.07#公开

摘要：本发明公开了多晶硅片切割领域内的一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法，该装置包括放线辊和收线辊，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；该方法包括步骤：放线辊储线段向收线辊放线，收线轮向放线轮放线，收线轮继续向放线轮放出金刚线，同时晶托下降，晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片，放线轮向收线轮放线，收线轮向放线辊储线段放线，放线辊储线段再向收线辊储线段放线，放线辊储线段空跑线。本发明通过收线轮向放线轮输送金刚线，确保切割晶棒的第一刀均是采用新线，避免产生入刀TTV，入刀翘曲和线痕等问题。

主权项：1.一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，多晶硅的金刚线切割装置包括放线辊和收线辊，放线辊和收线辊的轴线互相平行，放线辊和收线辊之间平行设置有两个螺纹辊，螺纹辊外周设有螺纹槽，螺纹辊的轴线和放线辊的轴线垂直，所述放线辊的上方设有轴线互相平行的第一导向轮、第二导向轮和第三导向轮，第一导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述收线辊的上方设有轴线互相平行的第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，第四导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述放线辊上卷绕有金刚线，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；金刚线沿着两侧的螺纹槽螺旋卷绕在两螺纹辊上，形成线网；所述螺纹辊上方设有可升降的晶托，晶托上固定有晶棒；所述放线辊包括放线轮和储线段，放线辊放线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，放线辊储线段的轴向长度大于放线轮的轴向长度，收线辊包括收线轮和储线段，收线辊收线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，收线辊储线段的轴向长度大于收线轮的轴向长度，放线轮和收线轮相对设置；所述第一导向轮和第六导向轮的轮轴上均转动连接有排线摆臂，排线摆臂的端部设有排线轮，两排线摆臂分别与放线辊、收线辊相对应设置；所述第二导向轮和第三导向轮的轮轴位于同一水平面内，第四导向轮和第五导向轮的轮轴位于同一水平面内；其特征在于，多晶硅的金刚线切割装置的切割方法包括如下步骤：（1）放线辊送线：放线辊和收线辊转动，放线辊储线段向收线辊放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得收线轮上卷绕k公里的金刚线；（2）收线轮送线：放线辊和收线辊反向转动，收线轮向放线轮放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得放线轮上卷绕m公里的金刚线；（3）进线切割：收线轮继续向放线轮放出n公里的金刚线，同时晶托下降，使得晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片；收线轮向放线轮放出的用于切割晶棒的金刚线包括新线和旧线，先放出的为未参与切割的新线，后放出的为已切割过的旧线，晶棒与线网接触后至下降163mm的行程内采用新线切割，晶棒下降到163mm至下降到164mm的行程内采用旧线切割；（4）放线轮和收线轮回线：晶托上升，带动晶棒与线网分开，放线辊和收线辊转动，放线轮向收线轮放线，使得放线轮上m+n公里的金刚线全部回收卷绕到收线轮上；收线轮再向放线辊储线段放线，使得收线轮上k公里的金刚线全部回收卷绕到放线辊储线段上；放线辊储线段再向收线辊储线段放线，使得收线辊储线段卷绕上（k-m-n）公里的金刚线；（5）放线辊储线段空跑线：放线辊和收线辊转动，在排线摆臂的引导下，放线辊储线段向收线辊储线段放出h公里的金刚线；所述步骤（1）开始之前，进行如下准备步骤：先在放线辊储线段上卷绕45~80km的金刚线，再将金刚线的出线端依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后将金刚线的末端固定在收线辊储线段上；所述步骤（5）完成后，换上新的待切割晶棒，再次循环进行步骤（1）、（2）、（3）（4）和（5），直至放线辊储线段上的金刚线用完，再向放线辊储线段增加卷绕新的金刚线；所述k=7，m=0.5，n=5.5和h=2.2；所述晶棒在切割方向上的尺寸为157.5~158mm，晶棒与线网接触后，晶棒下降移动的行程为164mm。

全文数据：一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法技术领域[0001]本发明属于多晶硅片切割领域，特别涉及一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法。背景技术[0002]现有技术中，有一种金刚线重复利用切割硅片的方法，其专利申请号：201710597274.7;申请日：2017.07.20;公布号：CN107379294A;公布日：2017.11.24;该方法包括步骤:利用放线轮输送的旧金刚线由零切割位置开始切割硅块，同时利用收线轮收线；旧金刚线切割结束后，利用放线轮输送的新金刚线将硅块剩余未切割部分全部切割;反向走线，将新产生的旧金刚线向放线轮输送。该方法利用上次切割后返回的旧金刚线切割硅块;然后利用新线将硅块切透，因此切割末端是利用新线切割;然后在硅块切透后自动返旧金刚线至放线轮，返回的旧金刚线供下次开始切割硅块时使用。[0003]上述方法的不足之处在于:将待切割金刚线设置在右侧放线轮，金刚线切割硅块的首刀为从放线轮向收线轮向进线，由于受机器结构、成本概念的限制，除了换新线后的切割首刀外，切割硅块的第一刀均采用旧线开始切割，进线为上一刀切割过的旧线，二次利用的金刚线切割能力较差，且容易导致入刀TTV超出硅片标准尺寸的公差范围），入刀翘曲和线痕等不良后果；同时采用旧线切割增大了断线率，该方法由于旧线参与切割较多，导致耗线量比较大，极大的降低了钢线利用率，增加了钢线成本。发明内容[0004]本发明的目的之一是提供一种用于多晶硅的金刚线切割装置，能够使得放线轮和收线轮之间互相放线，放线辊储存段向收线辊储存段放线，放线辊储存段和收线轮之间互相放线;通过收线轮向放线轮输送金刚线，从而对晶棒进行切割。[0005]本发明的目的是这样实现的：一种用于多晶硅的金刚线切割装置，包括放线辊和收线辊，放线辊和收线辊的轴线互相平行，放线辊和收线辊之间平行设置有两个螺纹辊，螺纹辊外周设有螺纹槽，螺纹辊的轴线和放线辊的轴线垂直，所述放线辊的上方设有轴线互相平行的第一导向轮、第二导向轮和第三导向轮，第一导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述收线辊的上方设有轴线互相平行的第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，第四导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述放线辊上卷绕有金刚线，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；金刚线沿着两侧的螺纹槽螺旋卷绕在两螺纹辊上，形成线网；所述螺纹辊上方设有可升降的晶托，晶托上固定有晶棒。[0006]作为本发明的改进，所述放线辊包括放线轮和储线段，放线辊放线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，放线辊储线段的轴向长度大于放线轮的轴向长度，收线辊包括收线轮和储线段，收线辊收线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，收线辊储线段的轴向长度大于收线轮的轴向长度，放线轮和收线轮相对设置。放线辊包括放线轮和储线段两个区域，收线辊包括收线轮和储线段两个区域，待切割的金刚线卷绕在放线辊储线段上，放线辊储线段可以向收线轮放线，放线辊储线段也可以向收线辊储线段放线;收线轮卷绕有金刚线后，收线轮可以向放线轮放线。[0007]作为本发明的进一步改进，所述第一导向轮和第六导向轮的轮轴上均转动连接有排线摆臂，排线摆臂的端部设有排线轮，两排线摆臂分别与放线辊、收线辊相对应设置。由于金刚线是螺旋卷绕在线辊上的，金刚线放线或收线时会改变位置，排线摆臂可以适应金刚线为其导向；排线摆臂摆动，为放线辊放出的金刚线进行引导，确保金刚线卷绕在收线轮或收线辊储线段上;排线摆臂摆动，为收线轮放出的金刚线进行引导，确保金刚线卷绕在放线轮或放线辊储线段上。[0008]为了更好地进行导向，增加金刚线的张力，所述第二导向轮和第三导向轮的轮轴位于同一水平面内，第四导向轮和第五导向轮的轮轴位于同一水平面内。[0009]为了进一步提高导向效果，所述第二导向轮和第三导向轮之间设有导向套，第四导向轮和第五导向轮之间设有导向套，金刚线对应穿过导向套的导向孔。[0010]本发明工作时，放线辊和收线辊同时转动，放线辊向收线辊放线;放线辊和收线辊反向转动，收线辊向放线辊放线；收线轮向放线轮放线的同时，晶托带动晶棒朝向线网下压，线网的上层将晶棒切割成若干多晶硅片。与现有技术相比，本发明的有益效果在于:在螺纹槽的导向下，便于金刚线在螺纹辊上布线;在排线摆臂和排线轮的引导下，金刚线可以自由卷绕在放线辊、收线辊的不同区域。本发明能够使得放线轮和收线轮之间互相放线，放线辊储存段向收线辊储存段放线，放线辊储存段和收线轮之间互相放线;通过收线轮向放线轮输送金刚线，从而对晶棒进行切割。[0011]本发明的目的之二是提供一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，能够通过收线轮向放线轮输送金刚线，从而对晶棒进行切割，确保切割晶棒的第一刀均是采用新线，避免产生入刀TTV，入刀翘曲和线痕等问题。[0012]本发明的目的是这样实现的：一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，包括如下步骤：1放线辊送线:放线辊和收线辊转动，放线辊储线段向收线辊放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得收线轮上卷绕k公里的金刚线；2收线轮送线:放线辊和收线辊反向转动，收线轮向放线轮放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得放线轮上卷绕m公里的金刚线；3进线切割:收线轮继续向放线轮放出η公里的金刚线，同时晶托下降，使得晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片；4放线轮和收线轮回线：晶托上升，带动晶棒与线网分开，放线辊和收线辊转动，放线轮向收线轮放线，使得放线轮上m+n公里的金刚线全部回收卷绕到收线轮上;收线轮再向放线辊储线段放线，使得收线轮上k公里的金刚线全部回收卷绕到放线辊储线段上;放线辊储线段再向收线辊储线段放线，使得收线辊储线段卷绕上k-m-n公里的金刚线；5放线辊储线段空跑线:放线辊和收线辊转动，在排线摆臂的引导下，放线辊储线段向收线辊储线段放出h公里的金刚线。[0013]作为本发明的进一步改进，所述步骤（1开始之前，进行如下准备步骤:先在放线辊储线段上卷绕45〜80km的金刚线，再将金刚线的出线端依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后将金刚线的末端固定在收线辊储线段上。[0014]作为本发明的进一步改进，所述步骤5完成后，换上新的待切割晶棒，再次循环进行步骤（1、（2、（34和5，直至放线辊储线段上的金刚线用完，再向放线辊储线段增加卷绕新的金刚线。[0015]作为本发明的进一步改进，所述k=7，m=0.5，n=5.5和h=2.2。为了确保晶棒被完全切割，所述晶棒在切割方向上的尺寸为157.5〜158mm，晶棒与线网接触后，晶棒下降移动的行程为164mm。[0016]作为本发明的进一步改进，所述步骤3中，收线轮向放线轮放出的用于切割晶棒的金刚线包括新线和旧线，先放出的为未参与切割的新线，后放出的为已切割过的旧线，晶棒与线网接触后至下降163mm的行程内采用新线切割，晶棒下降到163mm至下降到164mm的行程内采用旧线切割。本方案能够实现切割每个晶棒时，都是采用新线入刀切割，避免因旧线切割造成入刀TTV、入刀翘曲和线痕等问题。附图说明[0017]图1为本发明的切割装置的结构示意图。[0018]图2为卷绕在两螺纹辊上的线网的结构示意图。[0019]其中，1放线辊，Ia放线轮，Ib储线段，2收线辊，2a收线轮，2b储线段，3螺纹辊，4第一导向轮，5第二导向轮，6第三导向轮，7第四导向轮，8第五导向轮，9第六导向轮，10晶托，11晶棒，12分隔带，13排线摆臂，13a排线轮，14导向套。具体实施方式[0020]如图1和2所示，为一种用于多晶硅的金刚线切割装置，包括放线辊1和收线辊2,放线辊1和收线辊2的轴线互相平行，放线辊1包括放线轮Ia和储线段Ib，放线辊1放线轮Ia和储线段Ib之间经环形分隔带12隔开，放线辊1储线段Ib的轴向长度大于放线轮Ia的轴向长度，收线辊2包括收线轮2a和储线段2b，收线辊2收线轮2a和储线段2b之间经环形分隔带12隔开，收线辊2储线段2b的轴向长度大于收线轮2a的轴向长度，放线轮Ia和收线轮2a相对设置;放线辊1和收线辊2之间平行设置有两个螺纹辊3,螺纹辊3外周设有螺纹槽，螺纹辊3的轴线和放线辊1的轴线垂直，放线辊1的上方设有轴线互相平行的第一导向轮4、第二导向轮5和第三导向轮6,第一导向轮4的轴线与放线辊1的轴线垂直，收线辊2的上方设有轴线互相平行的第四导向轮7、第五导向轮8和第六导线轮，第四导向轮7的轴线与放线辊1的轴线垂直，放线辊1上卷绕有金刚线，放线辊1放出的金刚线依次绕过第一导向轮4、第二导向轮5、第三导向轮6、两螺纹辊3、第四导向轮7、第五导向轮8和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊2上;金刚线沿着两侧的螺纹槽螺旋卷绕在两螺纹辊3上，形成线网；螺纹辊3上方设有可升降的晶托10,晶托10上固定有晶棒11。第一导向轮4和第六导向轮9的轮轴上均转动连接有排线摆臂13,排线摆臂13的端部设有排线轮13a，两排线摆臂13分别与放线辊1、收线辊2相对应设置。第二导向轮5和第三导向轮6的轮轴位于同一水平面内，第四导向轮7和第五导向轮8的轮轴位于同一水平面内。第二导向轮5和第三导向轮6之间设有导向套14,第四导向轮7和第五导向轮8之间设有导向套14,金刚线对应穿过导向套14的导向孔。[0021]—种使用上述切割装置切割多晶硅的切割方法，包括如下步骤：准备:先在放线辊1储线段Ib上卷绕45〜80km的金刚线，再将金刚线的出线端依次绕过第一导向轮4、第二导向轮5、第三导向轮6、两螺纹辊3、第四导向轮7、第五导向轮8和第六导线轮，最后将金刚线的末端固定在收线辊2储线段2b上；⑴放线辊1送线:放线辊1和收线辊2转动，放线辊1储线段Ib向收线辊2放线，排线摆臂13摆动，在排线轮13a的导向下，使得收线轮2a上卷绕7公里的金刚线；2收线轮2a送线:放线辊1和收线辊2反向转动，收线轮2a向放线轮Ia放线，排线摆臂13摆动，在排线轮13a的导向下，使得放线轮Ia上卷绕0.5公里的金刚线；3进线切割:收线轮2a继续向放线轮Ia放出5.5公里的金刚线，同时晶托10下降，使得晶棒11朝着线网下压，直至晶棒11被线网切割成若干片；晶棒11在切割方向上的尺寸为157.5〜158mm，晶棒11与线网接触后，晶棒11下降移动的行程为164mm;收线轮2a向放线轮Ia放出的用于切割晶棒11的金刚线包括新线和旧线，先放出的为未参与切割的新线，后放出的为已切割过的旧线，晶棒11与线网接触后至下降163mm的行程内采用新线切割，晶棒11下降到163mm至下降到164mm的行程内采用旧线切割；4放线轮Ia和收线轮2a回线：晶托10上升，带动晶棒11与线网分开，放线辊1和收线辊2转动，放线轮Ia向收线轮2a放线，使得放线轮Ia上6公里的金刚线全部回收卷绕到收线轮2a上；收线轮2a再向放线辊1储线段Ib放线，使得收线轮2a上7公里的金刚线全部回收卷绕到放线辊1储线段Ib上;放线辊1储线段Ib再向收线辊2储线段2b放线，使得收线辊2储线段2b卷绕上1公里的金刚线；5放线辊1储线段Ib空跑线:放线辊1和收线辊2转动，在排线摆臂13的引导下，放线辊1储线段Ib向收线辊2储线段2b放出2.2公里的金刚线。[0022]换上新的待切割晶棒11，再次循环进行步骤（1、（2、（34和（5，直至放线辊1储线段Ib上的金刚线用完，再向放线辊1储线段Ib增加卷绕新的金刚线。[0023]现设定准备阶段放线辊1储线段Ib上卷绕50公里的金刚线，两螺纹辊3之间线网的长度为3.6公里，金刚线依次绕过放线辊1、第一导向轮4、第二导向轮5、第三导向轮6、两螺纹辊3、第四导向轮7、第五导向轮8、第六导线轮9和收线辊2后，放线辊1储线段Ib上卷绕有46.4公里线，放线轮la、收线轮2a和收线辊2储线段2b上线的长度为0。对切割第一刀切割第一个晶棒，第二刀切割第二个晶棒，不同的切割步骤中，放线辊1和收线辊2上各区域卷绕的金刚线的长度列表1说明。[0024]表1从表1看出，切割第一个晶棒时，收线轮向放线轮放出的5.5公里全是未切割过的新线，全部采用新线切割晶棒。[0025]切割第二个晶棒时，收线轮向放线轮放出的前3.2公里是未切割过的新线，后2.3公里是已切割过的旧线。晶棒与线网接触后至下降163mm的行程内采用3.2公里新线切割，晶棒下降到163mm至下降到164mm的行程内采用2.3公里旧线切割。切割第三个、第四个等其他晶棒时，收线轮向放线轮放出的5.5公里线均是由先放出的3.2公里新线以及后放出的2.3公里旧线组成。[0026]除第一个晶棒外，切割晶棒时，都是采用新线入刀切割，可避免因旧线切割造成入刀TTV、入刀翘曲和线痕等问题。[0027]本发明的金刚线切割硅片的方法与现有技术的传统方法的差异如下表2所示：表2从表2可以看出，现有技术使用旧金刚线切割硅块的前半部分，而硅块的尾部则用新线切割，进线为上一刀切割过的旧线，二次利用的金刚线切割能力较差，且容易导致入刀TTV，入刀翘曲和线痕等不良后果。本发明采用新线入刀切割晶棒，切割深度为0〜163mm时，全部采用新线切割，切割深度为163〜164mm时，采用旧线切割；晶棒的大部分切割深度都是采用新线切割，提高切割质量，避免产生入刀TTV，入刀翘曲和线痕;切割后产生的旧线全部回到放线辊储线段上，放线辊储线段向收线辊储线段空跑部分旧线后，放线辊储线段外层为旧线，内层为新线，放线辊储线段向收线轮放线后，收线轮外层为新线，内层为旧线，因此收线轮向放线轮进线切割时，先用新线切割，再用旧线切割;采用新线切割降低了断线率，新线参与切割较多，未参与切割的线量较少，提高了钢线利用率，降低钢线成本。[0028]本发明并不局限于上述实施例，在本发明公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本发明的保护范围内。

权利要求：1.一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，包括放线辊和收线辊，放线辊和收线辊的轴线互相平行，放线辊和收线辊之间平行设置有两个螺纹辊，螺纹辊外周设有螺纹槽，螺纹辊的轴线和放线辊的轴线垂直，所述放线辊的上方设有轴线互相平行的第一导向轮、第二导向轮和第三导向轮，第一导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述收线辊的上方设有轴线互相平行的第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，第四导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述放线辊上卷绕有金刚线，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上;金刚线沿着两侧的螺纹槽螺旋卷绕在两螺纹辊上，形成线网;所述螺纹辊上方设有可升降的晶托，晶托上固定有晶棒。2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述放线辊包括放线轮和储线段，放线辊放线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，放线辊储线段的轴向长度大于放线轮的轴向长度，收线辊包括收线轮和储线段，收线辊收线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，收线辊储线段的轴向长度大于收线轮的轴向长度，放线轮和收线轮相对设置。3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述第一导向轮和第六导向轮的轮轴上均转动连接有排线摆臂，排线摆臂的端部设有排线轮，两排线摆臂分别与放线辊、收线辊相对应设置。4.根据权利要求2或3所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述第二导向轮和第三导向轮的轮轴位于同一水平面内，第四导向轮和第五导向轮的轮轴位于同一水平面内。5.根据权利要求2或3所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述第二导向轮和第三导向轮之间设有导向套，第四导向轮和第五导向轮之间设有导向套，金刚线对应穿过导向套的导向孔。6.根据权利要求3-5任一项所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，其特征在于，包括如下步骤：1放线辊送线:放线辊和收线辊转动，放线辊储线段向收线辊放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得收线轮上卷绕k公里的金刚线；2收线轮送线:放线辊和收线辊反向转动，收线轮向放线轮放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得放线轮上卷绕m公里的金刚线；3进线切割:收线轮继续向放线轮放出η公里的金刚线，同时晶托下降，使得晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片；4放线轮和收线轮回线：晶托上升，带动晶棒与线网分开，放线辊和收线辊转动，放线轮向收线轮放线，使得放线轮上m+n公里的金刚线全部回收卷绕到收线轮上;收线轮再向放线辊储线段放线，使得收线轮上k公里的金刚线全部回收卷绕到放线辊储线段上;放线辊储线段再向收线辊储线段放线，使得收线辊储线段卷绕上k-m-n公里的金刚线；5放线辊储线段空跑线:放线辊和收线辊转动，在排线摆臂的引导下，放线辊储线段向收线辊储线段放出h公里的金刚线。7.根据权利要求6所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，其特征在于，所述步骤（1开始之前，进行如下准备步骤:先在放线棍储线段上卷绕45〜80km的金刚线，再将金刚线的出线端依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后将金刚线的末端固定在收线辊储线段上。8.根据权利要求6或7所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，其特征在于，所述步骤5完成后，换上新的待切割晶棒，再次循环进行步骤（1、（2、（34和5，直至放线辊储线段上的金刚线用完，再向放线辊储线段增加卷绕新的金刚线。9.根据权利要求6或7所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，其特征在于，所述1^=7，111=0.5，11=5.5和11=2.2;所述晶棒在切割方向上的尺寸为157.5〜1581]1111，晶棒与线网接触后，晶棒下降移动的行程为164_。10.根据权利要求9所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，其特征在于，所述步骤3中，收线轮向放线轮放出的用于切割晶棒的金刚线包括新线和旧线，先放出的为未参与切割的新线，后放出的为已切割过的旧线，晶棒与线网接触后至下降163mm的行程内采用新线切割，晶棒下降到163_至下降到164_的行程内采用旧线切割。

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