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一种非球面光学元件的加工方法 

申请/专利权人:中国科学院光电技术研究所

申请日:2024-06-06

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118288121A

主分类号:B24B1/00

分类号:B24B1/00;B24B13/00;B24B51/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明提供一种非球面光学元件的加工方法,属于非球面元件加工领域,包括预抛光阶段和平滑阶段,在预抛光阶段和平滑阶段采用不相同的路径类型进行协同加工,在预抛光阶段采用希尔伯特路径方法进行预抛光,在平滑阶段使用集成NURBS的Gosper路径进行平滑处理,所述希尔伯特路径方法和集成NURBS的Gosper路径用于分别在预抛光阶段和平滑阶段去除不同频段范围、不同分布范围的中频误差。本发明结合了NURBS在灵活形状控制方面的优势和Gosper曲线复杂的覆盖能力,显著减少MSF误差,并在非球面光学元件上实现了更优质的表面。

主权项:1.一种非球面光学元件的加工方法,其特征在于,包括预抛光阶段和平滑阶段,在预抛光阶段和平滑阶段采用不相同的路径类型进行协同加工,在预抛光阶段采用的路径类型为希尔伯特路径,对非球面光学元件进行预抛光;在平滑阶段采用的路径类型为集成NURBS的Gosper路径,对非球面光学元件进行平滑处理;所述希尔伯特路径和集成NURBS的Gosper路径用于分别在预抛光阶段和平滑阶段去除不同频段范围、不同分布范围的中频误差;NURBS表示非均匀有理B样条。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院光电技术研究所 一种非球面光学元件的加工方法

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