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申请/专利权人：福吉米株式会社
申请日：2017-09-15
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118291906A
主分类号：C23C4/04
分类号：C23C4/04;C01F17/265;C01F17/10
优先权：["20160916 JP 2016-181958"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明涉及喷镀用材料。本发明提供能形成抗等离子体腐蚀性得到提高的喷镀膜的喷镀用材料。该喷镀用材料包含使多个氟化钇微粒一体化而成的复合颗粒。该喷镀用材料在Lab色彩空间中的亮度L为91以下。该亮度L更优选为5以上。
主权项：1.一种喷镀用材料，其是作为由多个复合颗粒构成的粉体的喷镀用材料，所述复合颗粒是使由多个氟化钇微粒构成的造粒颗粒通过在非活性气氛或真空气氛中烧结一体化而成的复合颗粒，所述氟化钇微粒的平均粒径为0.05μm以上且5μm以下，所述粉体的平均粒径为10μm以上且100μm以下，所述粉体的体积密度为1gcm3以上且1.7gcm3以下，所述喷镀用材料整体的99.5质量％以上由氟化钇构成，在Lab色彩空间中的亮度L为91以下。
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