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申请/专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
摘要：本申请涉及一种贴膜返工装置，包括壳体和吸气组件，吸气组件包括设于壳体的一端的空心管以及设于壳体内的活塞，活塞和壳体界定出一体积可变的储气腔，空心管的内腔连通于储气腔，活塞配置为能够响应于外部作用力而沿空心管的中心轴线的延伸方向往复移动，空心管能够戳入膜片的目标区域，目标区域为膜片与零件之间具有气体的区域，气体能够响应于储气腔的体积变化而经由内腔进入储气腔。在本申请的方案中，目标区域内的气体将会随着活塞的移动而逐渐被吸入储气腔内，直至目标区域内的气体被基本抽取干净，而由于空心管的孔径较小，因此，本申请在对膜片表面造成较小破损面积的同时也能够更大程度地清除目标区域的气体，从而提升了气泡的消除效果。
主权项：1.一种贴膜返工装置，其特征在于，所述贴膜返工装置用于释放膜片与零件间的气体，所述贴膜返工装置包括：壳体；吸气组件，所述吸气组件包括设于所述壳体的一端的空心管以及设于所述壳体内的活塞；所述活塞和所述壳体界定出一体积可变的储气腔，所述空心管的内腔连通于所述储气腔，所述活塞配置为能够响应于外部作用力而沿所述空心管的中心轴线的延伸方向往复移动；其中，所述空心管能够戳入所述膜片的目标区域，所述目标区域为所述膜片与所述零件之间具有气体的区域，所述气体能够响应于所述储气腔的体积变化而经由所述内腔进入所述储气腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 贴膜返工装置
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