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申请/专利权人：西安工业大学
申请日：2023-07-17
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN116907379B
主分类号：G01B11/24
分类号：G01B11/24;G06T7/80;G06T7/73;G01N21/84
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.02#授权;2023.11.07#实质审查的生效;2023.10.20#公开
摘要：本发明公开了一种干涉条纹波面迭代方法及装置，涉及光学测量领域。用于解决现有针对干涉测量存在对硬件要求高、算法复杂以及运算速度较慢的问题。对获取到的待测物的初始干涉条纹图进行二值化处理，对二值化条纹进行近似求解得到初始待测相位；联立初始干涉条纹图光强分布公式、第一背景光、第一调制光和包括待测相位的第三干涉条纹图光强分布公式，得到第一待测相位；若第一待测相位和初始待测相位相位差满足RMSE要求，第一待测相位通过Zernike多项式拟合得到第一待测面形信息，将第一待测面形信息确定为所述待测物的面形信息。
主权项：1.一种干涉条纹波面迭代方法，其特征在于，包括：对获取到的待测物的初始干涉条纹图进行正则化和振幅归一化处理，得到去掉干涉条纹背景的正则化条纹图；对所述正则化条纹图进行二值化处理，得到只包括初始条纹的0和π的相位信息的二值化条纹图，对所述二值化条纹进行近似求解得到初始待测相位；所述初始待测相位、初始干涉条纹图光强分布公式和包括背景光和调制光的第二干涉条纹图光强分布公式通过最小二乘法得到第一背景光和第一调制光；联立所述初始干涉条纹图光强分布公式、所述第一背景光、所述第一调制光和包括待测相位的第三干涉条纹图光强分布公式，得到第一待测相位；若所述第一待测相位和所述初始待测相位相位差满足RMSE要求，所述第一待测相位通过Zernike多项式拟合，得到第一待测面形信息，将所述第一待测面形信息确定为所述待测物的面形信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安工业大学 一种干涉条纹波面迭代方法及装置
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