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申请/专利权人：安集微电子科技(上海)股份有限公司
申请日：2022-12-29
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118270822A
主分类号：C01F17/235
分类号：C01F17/235;C01F17/10;B82Y40/00;C09G1/02
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.07.02#公开
摘要：本发明提供了一种氧化铈的合成方法，包括，S1：分别配置可溶性铈盐水溶液和沉淀剂水溶液，所述可溶性铈盐掺杂可溶性非稀土化合物，将所述可溶性铈盐水溶液加入至所述沉淀剂水溶液中，在密闭反应容器中混合，常温下进行剧烈搅拌；S2：升温至晶化温度，进行晶化合成反应；S3：分离固体，依次进行干燥和焙烧，得到氧化铈产物。相较于现有技术，本发明的氧化铈合成方法通过元素掺杂对颗粒形貌和抛光活性的调控，所合成氧化铈经分散处理后，显示出良好的CMP抛光性能。
主权项：1.一种氧化铈合成方法，其特征在于，包括，S1：分别配置可溶性铈盐水溶液和沉淀剂水溶液，所述可溶性铈盐掺杂可溶性非稀土化合物，将所述可溶性铈盐水溶液加入至所述沉淀剂水溶液中，在密闭反应容器中混合，常温下进行剧烈搅拌；S2：升温至晶化温度，进行晶化合成反应；S3：分离固体，依次进行干燥和焙烧，得到氧化铈产物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安集微电子科技(上海)股份有限公司 一种氧化铈合成方法、一种氧化铈及其用途
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