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申请/专利权人：南京三芯半导体设备制造有限公司
摘要：一种高效率方形硅棒加工装置用测量组件，包括机架（1），其特征是：所述的机架（1）上安装有气缸箱（2），气缸箱（2）中安装有伸缩气缸（3），伸缩气缸（3）的气缸轴通过连杆与两个测量头（4）相连，测量头（4）上罩装有能上下移动的气动防水门（5），气动防水门（5）上设有供测量头（4）伸出的测量孔（6），在机架罩壳上也设有相应的通孔。本实用新型结构简单，测量准确，防水性能好。
主权项：1.一种高效率方形硅棒加工装置用测量组件，包括机架（1），其特征是：所述的机架（1）上安装有气缸箱（2），气缸箱（2）中安装有伸缩气缸（3），伸缩气缸（3）的气缸轴通过连杆与两个测量头（4）相连，测量头（4）上罩装有能上下移动的气动防水门（5），气动防水门（5）上设有供测量头（4）伸出的测量孔（6），在机架罩壳上也设有相应的通孔。
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