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申请/专利权人：株式会社迪思科
摘要：本发明提供加工装置和被加工物的搬出方法，当搬出被加工物时使该被加工物从保持面分离时，防止包含加工屑的流体飞散并且瞬时进行被加工物的清洗。加工装置的保持单元包含保持面、吸引阀、空气喷出阀以及水喷出阀、吸引口以及使该吸引口与吸引源连通或者切断的吸引口吸引阀。该加工装置中的晶片的搬出方法包含如下的工序：分离工序，关闭吸引阀并打开空气喷出阀和水喷出阀，从而向保持面提供空气与水的混合流体而使晶片从保持面分离；以及搬出工序，将从保持面分离的晶片搬出，分离工序包含如下的吸引工序：打开吸引口吸引阀，在保持面的外侧对混合流体进行吸引。
主权项：1.一种加工装置，其中，该加工装置具有：保持单元，其利用保持面对被加工物进行吸引保持；加工单元，其对吸引保持于该保持面的该被加工物进行加工；以及控制器，其对该保持单元和该加工单元进行控制，该保持单元包含：吸引阀，其使该保持面与吸引源连通或切断；流体喷出阀，其使该保持面与流体提供源连通或切断；吸引口，其呈环状配置于该保持面的外侧，对从该保持面喷出的流体进行吸引；以及吸引口吸引阀，其使该吸引口与该吸引源连通或切断，该控制器对关闭该吸引阀、打开该流体喷出阀以及打开该吸引口吸引阀的动作进行控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社迪思科 加工装置和被加工物的搬出方法
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