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申请/专利权人：艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司
申请日：2024-04-29
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118086854B
主分类号：C23C14/35
分类号：C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/54;H01M8/0228
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2024.06.14#实质审查的生效;2024.05.28#公开
摘要：本发明涉及一种金属双极板涂层的制备方法，该制备方法包括依次在双极板的表面上制备金属层、金属碳过渡层以及溅射碳层，在制备金属碳过渡层的过程中，将施加到所述金属双极板上的偏压设定为不小于100V，产生垂直于沉积粒子运动轨迹的磁场，通过调整偏压和磁场强度，保证沉积粒子的偏压电流不小于0.5Acm2，以便于制备出在酸性高电位下防腐蚀性能优异的金属双极板表面涂层。
主权项：1.一种金属双极板涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将待沉积涂层的金属双极板安装到磁控溅射涂层机内，所述涂层机内预设置金属靶材和石墨靶材，所述金属靶材的材质为Ti，利用等离子体清洁所述金属双极板表面；S2、开启金属靶材，将施加在所述金属靶材上的第一功率调整为预设功率参数，所述预设功率参数范围为5KW～20KW，向所述金属双极板表面沉积金属层，所述金属层的厚度为50nm～500nm；S3、再开启石墨靶材，将施加到所述金属双极板上的偏压设定为预设偏压参数，所述预设偏压参数不小于100V，将施加到所述石墨靶材上的第二功率调整为由初始预设功率参数逐步增加到所述预设功率参数，将施加到所述金属靶材上的第一功率调整为由所述预设功率参数逐步下降到初始预设功率参数，所述初始预设功率参数范围为0.2KW～1KW，同时，启动电磁等离子辅助装置，以便于产生垂直于沉积粒子运动轨迹的磁场，使所述金属双极板表面的磁场强度不小于5mT，沉积金属碳过渡层，所述金属碳过渡层的厚度为20nm～200nm，其中：所述电磁等离子辅助装置设置于所述涂层机的腔体的四周，或，所述电磁等离子辅助装置设置于所述涂层机的腔体的上部和下部；S4、关闭金属靶材，将施加到所述石墨靶材上的第二功率维持在所述预设功率参数，沉积溅射碳层，所述溅射碳层的厚度为100nm～1000nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司 一种金属双极板涂层的制备方法
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