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申请/专利权人：复旦大学
申请日：2021-12-30
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN114381714B
主分类号：C23C16/448
分类号：C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;G01K13/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2022.05.10#实质审查的生效;2022.04.22#公开
摘要：本发明涉及一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置，包括：真空连接支座上安装有冷却套筒，冷却套筒的顶部安装有二级蒸气喷嘴、一级蒸气喷嘴和高温加热套筒，高温加热套筒内设置有双头坩埚，双头坩埚内放置有原子分子固态样品，双头坩埚的底部安装有测温探头，一级蒸气喷嘴和二级蒸气喷嘴均为可替换孔径式设计的蒸气喷出限束准直孔，冷却套筒用于冷却和屏蔽装置内部的高温；高温加热套筒用于加热双头坩埚；测温探头用于原位测量双头坩埚的内部温度；一级、二级蒸气喷嘴用于实现原子分子蒸气束流半径的一级、二级限束和喷射方向的一级、二级准直。与现有技术相比，本发明能够有效减少高温辐射、精准调控原子分子蒸气的束流半径及喷射方向。
主权项：1.一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置，其特征在于，包括真空连接支座G，所述真空连接支座G上安装有冷却套筒C，所述冷却套筒C的顶部从上至下依次安装有二级蒸气喷嘴A、一级蒸气喷嘴B和高温加热套筒D，所述高温加热套筒D内设置有双头坩埚E，所述双头坩埚E内放置有原子分子固态样品，所述双头坩埚E的底部安装有测温探头F，所述一级蒸气喷嘴B和二级蒸气喷嘴A均为可替换孔径式设计的蒸气喷出限束准直孔，所述冷却套筒C用于冷却和屏蔽装置内部的高温；所述高温加热套筒D用于加热双头坩埚E；所述测温探头F用于原位测量双头坩埚E的内部温度；所述一级蒸气喷嘴B用于实现原子分子蒸气束流半径的一级限束和喷射方向的一级准直；所述二级蒸气喷嘴A用于实现原子分子蒸气束流半径的二级限束和喷射方向的二级准直；所述一级蒸气喷嘴B和二级蒸气喷嘴A的孔径范围为百微米至毫米，所述一级蒸气喷嘴B和二级蒸气喷嘴A的中心相互准直安装。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复旦大学 一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置
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