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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2022-11-03
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118265953A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：["20211123 EP 21209747.1"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：针对制造过程的产品上的多个位置的每个执行测量过程，在每个位置，表征制造过程的感兴趣参数被认为名义上相同，以针对包括至少一个图像的每个位置导出测量信号。对测量信号的数据集应用降维方法，以获得包括指示图像之间的变化的分量的数据集的分量。针对这些分量中的至少一个分量，识别测量信号中的一个或多个相关联的测量信号，所识别的测量信号包括所述多个位置的各自图像中的至少一个相应像素集。减少或消除在数据集中所识别的测量信号的贡献以获得经处理的信号，并从经处理的信号获得感兴趣参数。
主权项：1.一种估计制造过程的参数的方法，所述方法包括：a针对所述制造过程的产品上的多个位置中的每个位置，在所述每个位置处感兴趣参数名义上相同，使用测量过程导出多个相应的测量信号，每个位置的测量信号包括针对所述位置生成的至少一个相应图像的相应像素；b对包括所述测量信号的数据集应用分量提取方法，以获得指示在位置之间所述测量信号的变化的一个或多个分量；c识别所述测量信号中的与所述分量中的至少一个分量相关联的一个或多个测量信号，所识别的测量信号包括所述多个位置的各自图像中的至少一个相应像素集；d从其中所识别的一个或多个测量信号的贡献相对于其他测量信号至少被减少的测量信号导出经处理的信号；以及e基于所述经处理的信号来估计所述制造过程的参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 获得表征制造过程的参数
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