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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：描述了一种用于在运输方向T上运输载体的载体运输系统100。载体运输系统包括至少一个第一载体保持器110，所述至少一个第一载体保持器110被配置为将第一载体10保持在基本上竖直的取向V上；以及至少一个驱动单元112，所述至少一个驱动单元112用于在运输方向T上将第一载体运输到至少一个第一载体保持器110上或从至少一个第一载体保持器110运输出第一载体，其中至少一个第一载体保持器能够在横向于运输方向T的路径切换方向S上移动，并且能够在保持位置I和返回位置II之间围绕在路径切换方向S上延伸的第一旋转轴线A1转动。
主权项：1.一种载体运输系统100，包括至少一个第一载体保持器110，所述至少一个第一载体保持器110被配置为将第一载体10保持在基本上竖直的取向V上；以及至少一个驱动单元112，所述至少一个驱动单元112用于在运输方向T上将所述第一载体10运输到所述至少一个第一载体保持器110上或从所述至少一个第一载体保持器110运输出所述第一载体10，其中所述至少一个第一载体保持器110能够在横向于所述运输方向T的路径切换方向S上移动，并且能够在保持位置I和返回位置II之间围绕在所述路径切换方向S上延伸的第一旋转轴线A1转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 载体运输系统、真空沉积系统以及载体运输的方法
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