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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种涡电流传感器、研磨装置及膜厚检测方法，即使在检测微细金属的情况下检测输出也大于以往技术。涡电流传感器50具有检测在半导体晶片WH产生的涡电流的第一检测部180和检测涡电流的第二检测部182。第一检测部180具有能够产生涡电流的第一励磁线圈72和能够检测涡电流的第一检测线圈73。第一励磁线圈72和第一检测线圈73是空芯线圈。第二检测部182具有能够产生涡电流的第二励磁线圈860、862和能够检测涡电流的第二检测线圈864、866。第二励磁线圈860、862和第二检测线圈864、866是具有磁性体的芯部60的线圈。
主权项：1.一种涡电流传感器，具有对于在检测对象物产生的涡电流进行检测的第一检测部和检测所述涡电流的第二检测部，其特征在于，所述第一检测部具有能够产生所述涡电流的第一励磁线圈和能够检测所述涡电流的第一检测线圈，所述第一励磁线圈和所述第一检测线圈是空芯线圈，或者是具有非磁性体的芯部的线圈，所述第二检测部具有能够产生所述涡电流的第二励磁线圈和能够检测所述涡电流的第二检测线圈，所述第二励磁线圈和所述第二检测线圈是具有磁性体的芯部的线圈。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 涡电流传感器、研磨装置及膜厚检测方法
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