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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种研磨垫修整器修整速率监测方法、装置及研磨设备，方法包括：在研磨垫修整器每经过预设数量晶圆的研磨后，对所述研磨垫修整器进行研磨检测，得到对测试垫进行研磨前后的差异值；根据所述差异值，计算出所述研磨垫修整器当前的修整速率，从而实现对研磨垫修整器修整速率进行监测。本发明的技术方案通过测试出研磨垫修整器对测试垫进行研磨前后的差异值，可以准确地监测研磨垫修整器的修整速率，并且研磨监测的测试可以保证监测结果的可靠性，并在每经过预设数量晶圆的研磨后进行一次测试，可以实时监测研磨垫修整器的修整速率，能够更加高效，能够及时发现晶圆研磨过程中的问题来进行调整，提高生产效率。
主权项：1.一种研磨垫修整器修整速率监测方法，其特征在于，包括：在研磨垫修整器每经过预设数量晶圆的研磨后，对所述研磨垫修整器进行研磨检测，得到对测试垫进行研磨前后的差异值；根据所述差异值，计算出所述研磨垫修整器当前的修整速率，从而实现对研磨垫修整器修整速率进行监测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种研磨垫修整器修整速率监测方法、装置及研磨设备
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