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申请/专利权人：格科微电子(上海)有限公司
申请日：2022-12-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263262A
主分类号：H01L27/146
分类号：H01L27/146
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明实施例公开了一种背照式图像传感器及其形成方法，该方法包括：提供衬底，其包括有源像素区和相位检测自动对焦像素区；调整所述有源像素区和所述相位检测自动对焦像素区之间的第一沟槽隔离结构，使所述相位检测自动对焦像素区周围的有源像素响应的电信号减小，以匹配其余有源像素产生的电信号，从而提高了背照式图像传感器的成像质量。
主权项：1.一种背照式图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底，其包括有源像素区和相位检测自动对焦像素区；调整所述有源像素区和所述相位检测自动对焦像素区之间的第一沟槽隔离结构，使所述相位检测自动对焦像素区周围的有源像素响应的电信号减小，以匹配其余有源像素产生的电信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 格科微电子(上海)有限公司 背照式图像传感器及其形成方法
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皖公网安备 34010402703815号