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申请/专利权人：哈尔滨工业大学;哈工大郑州研究院
申请日：2024-05-11
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256900A
主分类号：C23C16/48
分类号：C23C16/48;C23C16/52
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：一种热丝CVD的紧丝装置及其自动控制方法，本发明的目的是为了解决现有热丝CVD的紧丝装置在降温过程中易出现断裂的问题。热丝CVD的紧丝装置中的四根电极支架竖直设置，两个电极对称设置，所述的连接机构为横置的椭圆柱体，沿椭圆柱体的径向开有通孔，沿椭圆柱体的轴向开有方形槽孔，热丝的一端沿方形槽孔的宽度方向穿入，再绕入插设在通孔中，热丝张紧在两个电极之间，连接机构的一椭圆端与静态单轴力矩传感器转动连接，连接机构的另一椭圆端与伺服电机的动力输出端相连。本发明能够根据热丝CVD的工艺阶段自动调节热丝的状态，使热丝在升温及保温的过程中不下榻、在降温的过程中不断裂，延长了热丝的使用寿命。
主权项：1.一种热丝CVD的紧丝装置，其特征在于该热丝CVD的紧丝装置包括热丝1、伺服电机2、静态单轴力矩传感器3、连接机构4、四根电极支架6和两个电极7，四根电极支架6竖直设置，在电极支架6的上部设置有固定板，电极7横置在两块固定板之间，两个电极7对称设置，所述的连接机构4为横置的椭圆柱体，沿椭圆柱体的径向开有至少一个通孔4-1，沿椭圆柱体的轴向开有方形槽孔4-2，热丝1的一端沿方形槽孔4-2的宽度方向穿入，再绕入插设在通孔4-1中，热丝1的另一端固定在电极7上使热丝1张紧在两个电极7之间；连接机构4的一椭圆端与静态单轴力矩传感器3转动连接，静态单轴力矩传感器3上带有控制线5，连接机构4的另一椭圆端与伺服电机2的动力输出端相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学;哈工大郑州研究院 一种热丝CVD的紧丝装置及其自动控制方法
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