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申请/专利权人：常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
摘要：本发明属于CVD涂层设备技术领域，尤其涉及一种CVD涂层设备内置式加热组件及其安装方法，加热组件包括均为环状结构的骨架结构、内封板和两个端板，以及若干加热元件；骨架结构内侧壁设置有若干贯通槽，两端板对贯通槽的端部进行封堵，加热元件安装在贯通槽内，内封板与骨架结构连接，且对各敞口端进行封堵；骨架结构包括硅胶主环体和陶瓷纤维固化结构内表层，硅胶主环体通过向内的带状凸起形成贯通槽的侧壁；贯通槽的侧壁中沿骨架结构的轴线方向设置有等长的金属带，端板内通过硅胶表层包覆金属环片，内封板为硅胶结构。在本发明中，提供了一种适应于模块化的加热元件安装的加热组件，便于组装，且在组装后可实现有效的绝缘保护。
主权项：1.一种CVD涂层设备内置式加热组件，其特征在于，包括均为环状结构的骨架结构和两个端板，以及若干加热元件；所述骨架结构内侧壁沿轴线方向设置有若干贯通槽，两所述端板分别固定设置在所述骨架结构轴向的两端，对所述贯通槽的端部进行封堵，所述加热元件安装在所述贯通槽内，所述贯通槽朝向所述环状结构内的一侧设置有敞口端，供所述加热元件的热量散发；所述骨架结构包括硅胶主环体和陶瓷纤维固化结构内表层，所述硅胶主环体通过向内的带状凸起形成所述贯通槽的侧壁，所述陶瓷纤维固化结构内表层覆盖在所述硅胶主环体内表面上；其中，贯通槽的所述侧壁中沿所述骨架结构的轴线方向设置有等长的金属带，所述端板内通过硅胶表层包覆金属环片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 一种CVD涂层设备内置式加热组件及其安装方法
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