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一种异质结CVD载板传输提升系统 

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申请/专利权人:湖州爱康光电科技有限公司

摘要:本实用新型提供了一种异质结CVD载板传输提升系统,通过输送机构配合传送台、提升架结构实现稳定输送CVD载板的功能,解决传输提升效果不佳,传输流畅度低,影响工艺节拍的问题。包括传送台、输送机构以及提升架,提升架设置在传送台的上方,提升架呈L形结构且间隔对称设有两组,两组提升架之间设有输送机构;输送机构包括支撑杆、传动带、传动块,支撑杆两两对称间隔分布,且两组支撑杆之间水平间隔分布有多组连接轴,两组支撑杆相向面的两侧分别设有驱动轴,驱动轴与支撑杆相连;驱动轴与支撑杆转动连接,且驱动轴的一端穿入支撑杆内部,固定连接有驱动齿轮。综上所述,本实用新型具有运送稳定、传输效果好等优点。

主权项:1.一种异质结CVD载板传输提升系统,包括传送台、输送机构以及提升架,其特征在于,所述提升架设置在传送台的上方,所述提升架呈L形结构且间隔对称设有两组,两组所述提升架之间设有输送机构;所述输送机构包括支撑杆、传动带、传动块,所述支撑杆两两对称间隔分布,且两组支撑杆之间水平间隔分布有多组连接轴,两组支撑杆相向面的两侧分别设有驱动轴,所述驱动轴与支撑杆相连;所述驱动轴与支撑杆转动连接,且驱动轴的一端穿入支撑杆内部,固定连接有驱动齿轮,所述驱动轴远离驱动齿轮的一端位于支撑杆的外部,且外部套设有传动带,所述传动带在两组支撑杆之间间隔分布有两组,所述传动块设置在支撑杆靠近提升架的一端,所述传动块与提升架滑动连接。

全文数据:

权利要求:

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