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申请/专利权人：合肥美镓传感科技有限公司
申请日：2024-03-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263695A
主分类号：H01Q17/00
分类号：H01Q17/00;H01Q15/00;H01Q15/02;H01Q3/36;H01Q3/28
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本申请的实施例提供了一种超表面相变器及其制备方法、相变系统，涉及半导体技术领域，旨在提升对电磁波的相位和振幅的可调能力，降低调节的延迟以提高灵敏度。超表面相变器包括阵列式排布的多个相变单元，每个相变单元包括衬底、高电子迁移率晶体管和相变器，高电子迁移率晶体管设置于衬底上，高电子迁移率晶体管包括源极和漏极。相变器设置于衬底上，相变器与高电子迁移率晶体管的源极和漏极电连接，且相变器浮置。超表面相变器可以应用于相变系统中，以实现对电磁波的相位和振幅的调制。
主权项：1.一种超表面相变器，其特征在于，包括阵列式排布的多个相变单元；所述相变单元包括：衬底；高电子迁移率晶体管，设置于所述衬底上，所述高电子迁移率晶体管包括源极和漏极；相变器，设置于所述衬底上，所述相变器与所述源极和所述漏极电连接，且所述相变器浮置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥美镓传感科技有限公司 超表面相变器及其制备方法、相变系统
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