申请/专利权人:南京看视界智能科技有限公司
申请日:2022-12-27
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN118256859A
主分类号:C23C14/04
分类号:C23C14/04;C23C14/50
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.28#公开
摘要:本申请提供一种阶梯结构制备装置和阶梯结构的制备方法。该阶梯结构制备装置包括主体、掩膜板和安装机构;安装机构设置于主体,安装机构包括基座,以及用于安装基板的固定件;掩膜板设置于基座,掩膜板形成有至少一个开口,在第一方向上,开口至少部分朝向基板;固定件可活动设置于基座,以通过固定件调节基板的位置;主体包括发射源,在第一方向上,发射源设置于掩膜板远离基板的一侧,发射源可通过开口向基板发射粒子。本申请能够解决阶梯结构的制备工艺复杂,制备难度大的问题。
主权项:1.一种阶梯结构制备装置,其特征在于,包括主体、掩膜板和安装机构;所述安装机构设置于所述主体,所述安装机构包括基座,以及用于安装基板的固定件;所述掩膜板设置于所述基座,所述掩膜板形成有至少一个开口,在第一方向上,所述开口至少部分朝向所述基板;所述固定件可活动设置于所述基座,以通过所述固定件调节所述基板的位置;所述主体包括发射源,在所述第一方向上,所述发射源设置于所述掩膜板远离所述基板的一侧,所述发射源可通过所述开口向所述基板发射粒子。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 南京看视界智能科技有限公司 阶梯结构制备装置和阶梯结构的制备方法
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