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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
申请日：2024-04-17
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118259446A
主分类号：G02B21/36
分类号：G02B21/36
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供了一种光学显微镜装置以及半导体检测设备，光学显微镜装置包括相机、镜筒、安装件以及调节机构，调节机构包括：高度调节装置，设置在安装件上；第一支架，设置在高度调节装置上并受高度调节装置驱动升降；旋转调节装置，设置在第一支架上；以及第二支架，设置在旋转调节装置上，并受旋转调节装置驱动旋转；镜筒与相机连接，镜筒或相机连接在第二支架上，以使调节机构带动镜筒与相机共同升降和或旋转。由于镜筒是直接与相机相连后再安装在第二支架上，因此镜筒与相机在高度或者角度的调节过程中的相对位置始终不会发生变化，二者之间也不会产生角度晃动，进而可以提高光学显微镜装置的精度。
主权项：1.一种光学显微镜装置，其特征在于，包括相机400、镜筒200、安装件300以及调节机构100，所述调节机构100包括：高度调节装置110，设置在所述安装件300上；第一支架120，设置在所述高度调节装置110上并受所述高度调节装置110驱动升降；旋转调节装置，设置在第一支架120上；以及第二支架130，设置在所述旋转调节装置上并受所述旋转调节装置驱动旋转；所述镜筒200与所述相机400连接，所述镜筒200或所述相机400连接在所述第二支架130上，以使所述调节机构100带动所述镜筒200与所述相机400共同升降和或旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 光学显微镜装置以及半导体检测设备
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