申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司

申请日：2021-01-29

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN113203664B

主分类号：G01N15/00

分类号：G01N15/00;G01N21/88;G01N21/94;G02B21/00;G02B21/36

优先权：["20200131 DE 102020102419.3"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2021.08.20#实质审查的生效;2021.08.03#公开

摘要：描述了与在对样本对象111的光学显微镜检查中使用多像素偏振滤光器121相关的技术。通过这种方法，例如，可以进行颗粒分析，例如，特别是用于确定所述样本对象111表面的技术清洁度。

主权项：1.光学系统100，其特征在于，包括样本支架102，被配置为固定样本对象111，光学显微镜101，其定义了照明光路108和检测光路109，用于用偏振光对所述样本对象111进行显微观察，至少一个照相机120，其包括具有多个检测器像素元件的多像素检测器122，以及具有多个偏振滤光像素元件125、125-1、125-2、125-3、125-4的多像素偏振滤光器121，其中，所述多像素偏振滤光器121布置在所述检测光路109中的所述样本支架102和所述多像素检测器122之间，所述多像素检测器122被配置为提供图像数据，以及计算机逻辑元件130，被配置为基于所述图像数据计算所述样本对象111的至少一个偏振图像201，251-254，其中，所述计算机逻辑元件130还被配置为基于所述至少一个偏振图像201，251-254对所述样本对象111的表面进行颗粒分析，所述多像素偏振滤光器121包括至少两组偏振滤光像素元件125、125-1、125-2、125-3、125-4，所述至少两组的偏振滤光像素元件分别过滤光的不同的偏振方向195，所述至少两组包括第一组和第二组，其中，由所述第一组和所述第二组的所述偏振滤光像素元件125、125-1、125-2、125-3、125-4过滤的所述偏振方向195形成所述偏振方向195空间的第一基础，至少两组包括第三组和第四组，其中，由所述第三组和所述第四组的所述偏振滤光像素元件125、125-1、125-2、125-3、125-4过滤的所述偏振方向195形成所述偏振方向195空间的第二基础，所述计算机逻辑元件130被配置为通过将对应于所述第一基础的偏振滤光像素元件125、125-1、125-2、125-3、125-4的图像数据的像素值与对应于所述第二基础的偏振滤光像素元件125、125-1、125-2、125-3、125-4的图像数据的像素值相组合，来获得所述至少一个偏振图像201、251-254的像素值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 使用光学显微镜和多像素偏振滤光器进行颗粒分析

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