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申请/专利权人：上海发那科机器人有限公司
申请日：2024-03-15
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256887A
主分类号：C23C14/50
分类号：C23C14/50;C23C14/04
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明涉及工件镀覆技术领域，具体涉及一种实现工件全表面无痕镀覆的物理气相沉积工艺方法。包括，步骤S1，对一工件进行清洗，然后充分干燥；步骤S2，采用一内圆工装夹入工件的内孔或采用一外圆工装套设于工件的外表面；步骤S3，对工件受到内圆工装或外圆工装遮蔽以外的表面区域进行物理气相沉积镀覆膜层；步骤S4，采用外圆工装套设于工件的已镀覆膜层的外表面或内圆工装夹入工件的已镀覆膜层的内孔；步骤S5，对工件受到外圆工装或内圆工装遮蔽以外的表面区域进行物理气相沉积镀覆膜层。本发明实现工件PVD全表面无痕镀覆，达到工件表面PVD膜层无装夹痕迹、无色差的技术要求，提高产品质量。
主权项：1.一种实现工件全表面无痕镀覆的物理气相沉积工艺方法，其特征在于，包括，步骤S1，对一工件1进行清洗，然后充分干燥；步骤S2，采用一内圆工装2夹入所述工件1的内孔或采用一外圆工装3套设于所述工件1的外表面；步骤S3，对所述工件1受到所述内圆工装2或所述外圆工装3遮蔽以外的表面区域进行物理气相沉积镀覆膜层；步骤S4，采用所述外圆工装3套设于所述工件1的已镀覆膜层的外表面或所述内圆工装2夹入所述工件1的已镀覆膜层的内孔；步骤S5，对所述工件1受到所述外圆工装3或所述内圆工装2遮蔽以外的表面区域进行物理气相沉积镀覆膜层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海发那科机器人有限公司 一种实现工件全表面无痕镀覆的物理气相沉积工艺方法
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