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一种单晶硅片倒角设备及使用方法 

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申请/专利权人:江苏福旭科技有限公司

摘要:本发明适用于单晶硅片生产设备技术领域,提供了一种单晶硅片倒角设备及使用方法,包括定位组件,转动设置在定位组件上的凸轮调节组件,定位组件包括外定位件;外定位件包括外定位盘,外定位盘上分别间隔插设有第一连接件、第二连接件,外定位件内部转动配合有内定位件,该单晶硅片倒角设备存在不便于对不同规格大小的待倒角单晶硅片进行对心调节,需要根据待倒角单晶硅片的规格大小,频繁的更换不同规格的凸轮,从而影响其后期的倒角效率的问题,实现对不同规格的待倒角单晶硅片的对心调节定位,整个过程中无需根据待倒角单晶硅片的规格去更换凸轮调节组件,以此提高整个设备的适用范围,增加后期的倒角效率的效果。

主权项:1.一种单晶硅片倒角设备,包括定位组件1,其特征在于:转动设置在所述定位组件1上的凸轮调节组件2,所述定位组件1包括外定位件3;所述外定位件3包括外定位盘301,所述外定位盘301上分别间隔插设有第一连接件4、第二连接件5,所述外定位件3内部转动配合有内定位件6;所述外定位盘301顶部开设有若干弧形滑槽302,若干所述弧形滑槽302内部均滑动配合有限位挡柱303,所述外定位盘301周侧面固定有耳板304,所述耳板304顶部固定有支撑柱305;所述内定位件6包括内定位盘601,所述内定位盘601顶部开设有若干限位槽602,若干所述限位槽602分别与若干所述限位挡柱303滑动配合,所述内定位盘601顶部固定有连接柱603,所述连接柱603顶部转动配合有滚轮604,所述连接柱603周侧面固定有弧形弹簧605,所述弧形弹簧605一端固定有插接配合在所述支撑柱305上的套筒606。

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