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申请/专利权人：天津大学
摘要：本发明公开了一种提高THz‑ATR成像分辨率及性能的装置及方法，包括太赫兹辐射源发射的连续太赫兹波经斩波器变换为正弦波入射到太赫兹波分光镜并被分为两束：一束为反射光另一束为透射光作为探测样品信息的信号光依次经过第一太赫兹波反射镜、第一离轴抛物面镜、固体浸没ATR透镜、样品架并在样品架‑样品界面处发生全反射后从固体浸没ATR透镜出射，经第二离轴抛物面镜、第二太赫兹波反射镜后被第二太赫兹探测器接收。计算机控制样品架移动，采集太赫兹探测器接收的信号及数据的分析处理。本发明在显著提高衰减全反射式成像分辨率的同时还能解决传统衰减全反射式系统中焦点偏移导致的有效成像面积小这一问题，可以获得大尺寸样品的高灵敏度、高分辨率太赫兹成像。
主权项：1.一种提高THz-ATR成像分辨率及性能的装置，其特征在于，所述装置包括：太赫兹辐射源用于产生太赫兹波；斩波器用于将辐射源发出的太赫兹波转变为适合探测器探测的太赫兹波；太赫兹波分光镜用于将太赫兹波分成两束，一束作为参考光，另一束作为信号光进行成像检测；太赫兹波反射镜用于调整光路方向；第一、第二离轴抛物面镜用于太赫兹光束的聚焦和收集；所述第一离轴抛物面镜用于将入射太赫兹波聚焦到二维扫描样品架底面；第二离轴抛物面镜用于收集从固浸透镜出射的太赫兹波并将其转变为平行光束；固浸透镜用于提高系统数值孔径；所述固浸透镜形状为超半球形，尺寸需满足h+d＝r，n为材料折射率，r为超半球透镜的球半径，h为超半球固浸ATR透镜球心到样品架上表面的距离，d为样品架厚度；固浸透镜的有效数值孔径放大倍数的计算公式为： ，其中，为超半球形固体浸没ATR透镜及样品架的折射率，为空气折射率，U为未加入超半球形固体浸没ATR透镜的太赫兹波孔径角，U'为加入超半球形固体浸没ATR透镜后的太赫兹波孔径角；样品架作为成像窗口，其上、下表面分别与固浸透镜的底面以及样品的待测面紧密贴合；所述样品架材料与固浸透镜一致且成像过程中与固浸透镜底面紧密贴合；第一、第二太赫兹探测器用于接收太赫兹波信号；计算机用于控制样品架移动，采集太赫兹探测器接收的信号及数据的分析处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 一种提高THz-ATR成像分辨率及性能的装置及方法
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