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质谱仪 

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申请/专利权人:株式会社岛津制作所

摘要:可动侧磁体4设于真空室1内的可动部2。驱动部5设于真空室1的外部,通过对可动侧磁体4作用磁力而驱动可动部2。驱动部5具有第1磁体8、第2磁体9以及移动机构移动构件7。第1磁体8作用吸引可动侧磁体4的磁力。第2磁体9与第1磁体8相邻地设置,作用排斥可动侧磁体4的磁力。移动机构使第1磁体8和第2磁体9一体地移动。

主权项:1.一种质谱仪,其包括驱动装置,该驱动装置用于驱动设于真空室内的可动部,其特征在于,该驱动装置包括:可动侧磁体,其设于所述可动部;以及驱动部,其设于所述真空室的外部,通过对所述可动侧磁体作用磁力而驱动所述可动部,所述驱动部具有:第1磁体,其作用吸引所述可动侧磁体的磁力;第2磁体,其与所述第1磁体相邻地设置,作用排斥所述可动侧磁体的磁力;以及移动机构,其使所述第1磁体和所述第2磁体一体地移动,所述可动部连结于在所述真空室内设置的试样台,所述第2磁体以所述第1磁体为中心而呈点对称配置,或者,所述第2磁体以所述第1磁体为中心而呈圆环状配置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社岛津制作所 质谱仪

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