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天线效应检测方法、装置、电子设备及存储介质 

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申请/专利权人:北京象帝先计算技术有限公司

摘要:本公开涉及集成电路技术领域,提供了一种天线效应检测方法、装置、电子设备及存储介质。其中,天线效应检测方法包括:检查版图中是否存在目标金属结构,目标金属结构包括未接地的环状金属、与环状金属连接且未接地的第一金属、以及与第一金属存在重叠的第二金属,第一金属与第二金属位于不同的金属层;在版图中存在目标金属结构的情况下,输出第一金属与第二金属的重叠位置。本公开中,通过对版图中的上述目标金属结构进行检查,并且当版图中存在目标金属结构时,通过输出第一金属与第二金属的重叠位置,可以提前检测出因上述目标金属结构造成的天线效应,从而能提升天线效应的检出率,进而提高芯片质量。

主权项:1.一种天线效应检测方法,所述方法包括:检查版图中是否存在目标金属结构,所述目标金属结构包括未接地的环状金属、与所述环状金属连接且未接地的第一金属、以及与所述第一金属存在重叠的第二金属,所述第一金属与所述第二金属位于不同的金属层,所述环状金属是围绕芯片的一圈金属线,用于检测芯片是否发生断裂,所述环状金属具有缺口;在版图中存在所述目标金属结构的情况下,输出所述第一金属与所述第二金属的重叠位置。

全文数据:

权利要求:

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