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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-12-07
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118258820A
主分类号：G01N21/95
分类号：G01N21/95;G01N21/88;G01B11/24
优先权：["20221228 KR 10-2022-0187729"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供了一种基板测量方法和基板测量控制装置，其能够通过跳过通用辨识标记识别过程来大幅减少测量时间，基板测量方法包括：a通过使用标准晶圆来获得用于晶圆的全部区域的全部坐标；b通过至少使用测量目标晶圆的形状特征来校准在基板台上的测量目标晶圆；c通过使用全部坐标来移动照相机或其上具有测量目标晶圆的基板台、以将测量目标晶圆的目标区域定位在照相机的测量区域内；以及d通过使用照相机来测量测量目标晶圆的目标区域。
主权项：1.一种基板测量方法，所述基板测量方法包括：a通过使用标准晶圆来获得用于晶圆的全部区域的全部坐标；b通过至少使用测量目标晶圆的形状特征来校准在基板台上的所述测量目标晶圆；c通过使用所述全部坐标来移动照相机或其上具有所述测量目标晶圆的所述基板台、以将所述测量目标晶圆的目标区域定位在所述照相机的测量区域内；以及d通过使用所述照相机来测量所述测量目标晶圆的目标区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 基板测量方法和基板测量控制装置
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皖公网安备 34010402703815号