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申请/专利权人：株式会社昭和真空
申请日：2023-12-26
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118259057A
主分类号：G01R1/073
分类号：G01R1/073;G01R27/02;G01R31/00
优先权：["20221227 JP 2022-209345"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供一种能够准确测量电子部件的电特性的测量装置和测量方法。测量装置具有：第一腔室20，其具有第一空间24；多个接触探针21，其配置于第一腔室20的第一面，测量配置于与第一面对置的第二面的多个电子部件的电特性；切换部40，其具有层叠于第一腔室20的第一面侧的切换板41以及配置于该切换板41上的电子基板42，切换从多个接触探针21发送的信号；第二腔室50，其隔着切换板41与第一腔室20对置，具有第二空间51；以及压力调整单元60，其对压力进行调整以使第一空间24的压力与第二空间51的压力相等。
主权项：1.一种测量装置，包括：第一腔室，其具有第一空间；多个接触探针，其配置于所述第一腔室的第一面，测量配置于与所述第一面对置的第二面的多个电子部件的电特性；切换部，其具有配置于所述第一腔室的所述第一面侧的切换板以及配置于该切换板上的电子基板，并用于切换从所述多个接触探针发送的信号；第二腔室，其隔着所述切换板与所述第一腔室对置，并具有第二空间；以及压力调整单元，其对压力进行调整以使所述第一空间的压力与所述第二空间的压力相等。
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