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申请/专利权人：上海致领半导体科技发展有限公司
申请日：2024-03-21
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118219072A
主分类号：B24B1/04
分类号：B24B1/04;H01L21/607;H01L21/67;B24B37/10;B24B37/34;B24B37/005;B24B57/02;B24B51/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及超声波研磨结构、装置、系统及方法，超声波研磨结构包括研磨单元和超声单元，超声单元设置于研磨单元，用于对研磨液进行超声分散以及通过研磨液进行传输超声波。其优点在于，利用超声波的横波特性，有助于将研磨平面需去除的毛糙不平整峰值通过激波振荡撞击给予消除；利用超声波的机械波特性，有助于将密实的研磨颗粒分散，进而提高研磨效率，缩短研磨时间；无须调整研磨液的浓度、粒径等性质，在提高研磨效率的同时，降低研磨成本。
主权项：1.一种超声波研磨结构，其特征在于，包括：研磨单元，用于获取研磨液以及对待研磨物品进行平面研磨；超声单元，所述超声单元设置于所述研磨单元，用于对研磨液进行超声分散以及通过研磨液进行传输超声波。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海致领半导体科技发展有限公司 超声波研磨结构、装置、系统及方法
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