买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要:本发明提供一种工件台系统及其工作方法,所述工件台系统包括:微动模块、粗动模块、冲击力吸收模块、吊框、底部框架和主动减震模块;所述吊框和所述底部框架之间通过所述主动减震模块隔离,所述吊框为所述微动模块提供垂向气浮支撑;所述粗动模块通过所述冲击力吸收模块设置于所述底部框架,所述底部框架为所述冲击力吸收模块提供垂向气浮支撑,所述冲击力吸收模块用于吸收所述粗动模块在移动过程中产生的冲击力;所述微动模块和所述粗动模块采用分体设计,且所述微动模块运动时,所述粗动模块跟随所述微动模块的运动。采用本发明实施例提供的所述工件台系统,工件台移动精度可提高到30nm。
主权项:1.一种工件台系统,其特征在于,包括:微动模块、粗动模块、冲击力吸收模块、吊框、底部框架和主动减震模块;所述吊框和所述底部框架之间通过所述主动减震模块隔离,所述吊框为所述微动模块提供垂向气浮支撑;所述粗动模块通过所述冲击力吸收模块设置于所述底部框架,所述底部框架为所述冲击力吸收模块提供垂向气浮支撑,所述冲击力吸收模块用于吸收所述粗动模块在移动过程中产生的冲击力;所述微动模块和所述粗动模块采用分体设计,且所述微动模块运动时,所述粗动模块跟随所述微动模块运动。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 工件台系统及其工作方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。