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申请/专利权人：武汉万集光电技术有限公司
申请日：2022-12-14
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118226635A
主分类号：G02B26/08
分类号：G02B26/08
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本申请涉及一种微机电系统MEMS振镜，包括：振镜本体、正面线圈、背面线圈以及设置于振镜本体上的孔状结构，正面线圈设置于振镜本体的正面，背面线圈设置于振镜本体的背面，且正面线圈与背面线圈通过孔状结构相互连接，正面线圈和背面线圈用于在磁场的作用下产生大小相同方向一致洛伦兹力，以使振镜本体在洛伦兹力的作用下发生转动进行光束的扫描。采用上述微机电系统MEMS振镜在振镜本体的双面均设置线圈，使得双面线圈能够在磁场的作用下产生两倍的洛伦兹力，从而在不影响微机电系统MEMS振镜可靠性的情况下还能够提高洛伦兹力的微机电系统MEMS振镜；同时，采用上述方式设计的微机电系统MEMS振镜，设计结构简单，复杂度较低。
主权项：1.一种微机电系统振镜，其特征在于，所述微机电系统振镜包括：振镜本体、正面线圈、背面线圈以及设置于所述振镜本体上的孔状结构；所述正面线圈设置于所述振镜本体的正面，所述背面线圈设置于所述振镜本体的背面，且所述正面线圈与所述背面线圈通过所述孔状结构相互连接；所述正面线圈和所述背面线圈，用于在磁场的作用下产生大小相同方向一致洛伦兹力，以使所述振镜本体在所述洛伦兹力的作用下发生转动进行光束的扫描。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉万集光电技术有限公司 微机电系统振镜
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