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申请/专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司
摘要：本实用新型提供了一种高精度尺寸石英砣制造装置，该高精度尺寸石英砣制造装置包括熔炉、旋转升降机构和红外监测装置，其中，熔炉内部中空，顶部设置有能够向下喷射物料的燃烧器；旋转升降机构位于熔炉的中空腔体内，其上设置有用于承载待加工石英砣的底砣，底砣由旋转升降机构带动旋转机升降；红外监测装置设置于底砣的下方，用于检测位于其上方的待加工石英砣的直径。该技术方案，通过红外监测装置自下而上的监测待加工石英砣的尺寸，以对石英砣的初始沉积直径进行更为有效地监测，避免因初始直径的误差影响石英砣后续制作的尺寸精度，制备的石英砣尺寸精度更高，误差较小，避免了原料的浪费，降低了生产成本。
主权项：1.一种高精度尺寸石英砣制造装置，其特征在于，包括：熔炉2，其内部中空，顶部设置有能够向下喷射物料的燃烧器3；旋转升降机构，其位于所述熔炉2的中空腔体内，其上设置有用于承载待加工石英砣的底砣8，所述底砣8由所述旋转升降机构带动旋转机升降；红外监测装置9，其设置于所述底砣8的下方，用于检测位于其上方的待加工石英砣的直径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 连云港太平洋半导体材料有限公司 高精度尺寸石英砣制造装置
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