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申请/专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种用于增加拉棒长度的大尺寸掺镓单晶生产方法，具体步骤包括：拉棒长度由1500mm拉伸到1800mm时，逐步将炉压从15torr缓降至10torr持续保持，实现低压挥发；2500mm拉伸到2800mm时，逐步将等径功率升高1kw，高温加速挥发；等径2800mm拉伸到3300mn长度段，将拉晶埚转从9转降至6转，快速升温快速挥发，同时将氩气流量从80slpm缓慢增加至120slpm；完结段，等径5000mm开始至5400mm长度段，逐步将等径液口距放大2mm，增加挥发气体流通面积，使液面挥发气体加速流走。本发明的优点是增大掺杂剂的挥发，提高尾部电阻，延长有效拉棒长度，提高单产。

主权项：1.一种用于增加拉棒长度的大尺寸掺镓单晶生产方法，具体步骤如下，其特征在于，包括：（1）拉棒的初始氩气流量为80slpm，初始炉压为15torr，当拉棒长度由0拉伸至150mm时，将拉晶埚转从6转升至9转，当拉棒长度由0拉伸至300mm时，液口距由25mm缩小至20mm且持续保持不变；（2）当拉棒长度由1500mm拉伸到1800mm时，逐步降低炉压，将炉压从15torr缓降至10torr持续保持，实现低压挥发；（3）当拉棒长度由2500mm拉伸到2800mm时，逐步将等径功率升高1kw，温补由0℃上升至1℃，并随着拉棒长度由2800mm向6000mm增加，温补以1℃为增量逐渐递增至10℃，实现高温加速挥发效果；（4）等径2800mm拉伸到3100mm长度段，将拉晶埚转从9转将至7.5转，同时将氩气流量从80slpm缓慢增加至100slpm，等径3100mm拉伸到3300mn长度段，将拉晶埚转从7.5转降至6转，实现快速升温快速挥发效果，同时将氩气流量从80slpm缓慢增加至120slpm；（5）循环段由3300mm继续拉制至3450mm，针对完结段，等径5000mm开始至5400mm长度段，逐步将等径液口距放大2mm，增加挥发气体流通面积，使液面挥发气体加速流走，最后完结段由5400mm继续拉制至5500mm。

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