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一种石英坩埚外轮廓尺寸检测工装 

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申请/专利权人:常州裕能石英科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种石英坩埚外轮廓尺寸检测工装,包括水平设置的安装平台以及设置在安装平台上的检测壳体,所述检测壳体与安装平台组成封闭检测空间,安装平台表面设置有转台,安装平台下方设置有穿过安装平台与转台连接的驱动电机,转台上固定有石英坩埚,石英坩埚两侧相对设置的检测壳体内壁上分别安装有第一检测光源和显像屏。本实用新型对不同直径的石英坩埚进行外轮廓尺寸测量,在石英坩埚转动过程中通过投影在显像屏有效检测区域的部分判断产品外轮廓的合格率要求,在检测外轮廓尺寸的同时判断外轮廓缺陷合格率,保证各个测量点的立体空间的准确性,提升检测精确度。

主权项:1.一种石英坩埚外轮廓尺寸检测工装,包括水平设置的安装平台(1)以及设置在安装平台(1)上的检测壳体(2),其特征在于,所述检测壳体(2)与安装平台(1)组成封闭检测空间,安装平台(1)表面设置有转台(3),安装平台(1)下方设置有穿过安装平台(1)与转台(3)连接的驱动电机(4),转台(3)上固定有石英坩埚(5),石英坩埚(5)两侧相对设置的检测壳体(2)内壁上分别安装有第一检测光源(6)和显像屏(7)。

全文数据:

权利要求:

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