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申请/专利权人：香港科技大学
摘要：本发明关于一种用于有机发光二极管OLED材料图案化气相沉积的荫罩和荫罩模块。荫罩包括在拉伸应力下的陶瓷膜，所述陶瓷膜包括具有多个通孔的中央膜区域。而通孔形成孔阵列，使汽化的沉积材料可以通过该孔阵列。外围膜区域围绕中央膜区域。多层外围支撑件附接至外围膜区域的后表面，并在中央膜区域下方具有中空部分。多层外围支撑件具有基底层和位于压缩应力下的中间层，该中间层位于基底层上方并附着至外围膜区域的下表面。选择中间层的压缩应力以平衡陶瓷膜的拉伸应力，使得陶瓷膜保持在平面状态。荫罩模块包括具有多个支撑窗的刚性载体和附着于支撑窗框上的多个荫罩。
主权项：1.一种用于有机发光二极管材料的图案化气相沉积的荫罩，其特征在于，所述荫罩包括：一种处于拉伸应力下的陶瓷膜，其厚度小于5微米，所述陶瓷膜包括：具有多个通孔的中央膜区域，形成孔阵列，蒸发的沉积材料可通过该孔阵列；一种围绕中央膜区的外围膜区；一种多层外围支撑件，连接到外围膜区域的后表面，在中央膜区域下方具有中空部分，所述多层外围支撑件具有：一种基底层；一种处于压缩应力下的中间层，其位于所述基底层之上并且附着于所述外围膜区域的下表面；其中，选择中间层的压缩应力来平衡陶瓷膜的拉伸应力，使得陶瓷膜保持在平面状态；以及所述荫罩还包括处于拉伸应力下并位于所述基底层下方的下层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 香港科技大学 用于有机发光二极管材料图案化气相沉积的荫罩、包括其的荫罩模块及制造荫罩模块的方法
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